SJT 31070-1994 1482型键合机完好要求和检查评定方法
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ID： |
B62B7EF893564D7F90884C6C67639B0C |
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文件大小(MB)： |
0.25 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 31070-94,1482型键合机完好要求和检査评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 !482型键合机的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于!482型键合机。其它半导体器件生产用类似结构键合机亦可参照执行,2完好要求,2.1 主要技术指标,2.1.1 主要技术指标完好要求见下表,序号检测项目完好要求检测器具和方法,1,X向工作台、,Y向工作台,的键合范围,25. 4mm X,25* 4mm,0. 005mm,经键合后的硅片用HB显微镜对经键合,后芯片进行检测,2 系统精度0. 0127mm,2-1.2性能指标,2.1- 2-1键合拉断强度: 2 0.049N；,2.1 -2.2 剥离强度: 20.49N；,2.1.2.3可编程序引线数： 150根;,2.1.2- 4摄像头分辨率: 0.00254mm；,2.1.2. 5键合速度: 7.8线/S；,2.1.2. 6引线成品率: 99.99%,2.2 操作系统,2.2- 1各操纵按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全,2. 2-2制动、限位装置齐全,灵敏可靠,2.3传动系统,2. 3-1机械滑动链杆、凸轮运转正常可靠,2.3.2自动上、下料装置运动可靠,引线柜传送位置正确,无卡住现象;工作台运行可靠,2.4 电气系统,2.4-1 电气控制箱内布线整齐,各指示灯齐全、完整,指示正确、可靠;各种线路标志明显,连,接可靠,2.4.2 电气线路板接触可靠,其它各种接触器,继电器动作灵敏可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,一 1,SJ/T 31070-94,2.4.3 各光电传感器工作正常,无误动作,2.4.4 芯片检测灵敏度符合工艺要求,2.4.5 各电压表、电流表指示正确,误差在允许范围内,且有有效期内校验合格证,2.5 微机控制系统,2. 5.I各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏,可靠,控制装置各组成部分保持完整、功能,齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,2.5.2 显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2.5.3 输入/输岀程序正确无误,2.5 -4装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,2.6 气路系统,2. 6.1各气缸、电磁阀、气动阀安装位置正确,工作平稳、行程到位,不应有停滞和爬行现象,2- 6-2气路系统中各元件动作灵敏、可靠,2.6.3 气路管道接头、阀门元件之间联结应牢固,密封良好,无漏气现象,2.6.4 各气体压力表头指示正确,误差在允许范围内,有有效期内校验合格证,2.7光学系统,2. 7.1显微镜调焦机构升降灵活可靠,视场清晰,2.7.2显微镜镜头齐全、无明显霉斑,2. 7-3电视监视器图象清晰、识别系统工作可靠.,2-8安全防护,2. 8-1设备保护盖板、挡尘板齐全、完整无损,牢固、可靠,2. 8-2各种联锁、报警装置灵敏、可靠,2. 8.3外壳接地可靠,2.9维护保养,按SJ/T 31002— 94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检查方法,3.1.1 主要技术指标的检测方法见表列,3.1.2 对完好要求除2.1.I项外,采用现场主观方法进行检査,3. 2评定方法,3.2- 1主要项目2.1.1项,2.1.2项;其余均为次要项目,3.2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3. 2-3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明;,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出0,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人;张家明、顾军建、吴正伟,2……
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